1.1 簡介

   采用工業相機配合視覺軟件實現MICRALIGN 400,500,600,700系列光刻機的自動對位。改造后自動控制系統與機臺原有操控系統兼容，可自由切換。系統可接入車間生產管理平臺，自動下載工藝參數，上傳機臺動作數據。改造方便，性價比高。

  1.2 功能特點

  1) 實現自動獲取圖像，按照設定條件進行十字標識的位置獲取；

  2) 系統發出控制脈沖，模擬人手操作調節控制片平臺或版平臺移動；

  3) 對位精度在1um以內，20S內完成自動對位過程；

  4) 模擬曝光鍵、微調鍵功能；

  5) 人工調節操縱桿對位和自動視像對位功能切換；

  6) 實現智能自動對位規則、數據、圖片截圖保存；

  7) 記錄自動曝光片數、花籃位置、光刻版統計、樣片提醒功能；

  8) 可以根據設定的曝光片數加工，數量到達后發出報警并自動切換到人工對位。人工曝光完成后，再自動切換回自動對位曝光。

  9) 支持掃碼槍掃碼輸入，自動定位視像存儲和查詢，數據可上傳到MES系統，可以讀取MES系統數據實現自動錄單和光刻版號和批號的對比功能，識別加工設備、光刻版管理功能。

  10) 模擬設備上數字小鍵盤功能。（實現設定曝光量，調節機偏功能）。

  11) 報警功能：25S內無法完成對位報警提示，大于75分貝語音提醒。

  12) 具有分級管理權限，使用界面和維修、工藝、程序界面隔離。

  13) 具有緊急停止中斷功能，具備緊急按鈕。

  14) 更換品種后對準識別圖形自動更換。

  15) 加工批次連接MES，建立文件夾自動儲存批次光刻版信息等加工信息以EXCEL文件保存，方便查詢。

  16）實現250的機偏調整功能。

  17）具備標識圖形和對準圖形的對準中心識別功能。